SMC真空过滤器ZFA系列防止由固体异物造成真空元件的故障。由于可在SMC真空过滤器滤芯内捕捉固体异物，因此壳内无残留。
SMC真空过滤器ZFA系列设计可更换滤芯的夹头式过滤器，可集装10位，滤芯的过滤面积大，并且可以在任意方向安装。
ZFA系列SMC真空过滤器选型表
SMC真空过滤器ZFA100、ZFA200系列规格
使用空气、氮气介质
使用压力范围-100~0KPa
真空破坏压力MAX. 0.5MPa(不能加压保持)
使用及环境温度范围5~60℃
过滤30μm(捕捉效率95%)
滤芯更换压差20kPa
SMC真空过滤器的滤芯更换方法：
1) 停止SMC过滤器运转，使过滤器的内压变为大气压。
2) 拧松紧定螺钉，打开盖。
3) 捏住SMC滤芯上部的提手部，取出。
4) 确认垫片有无破损，变形，膨胀等，确认有异常的场合，请更换新品。
5) 按相反的顺序更换新滤芯。另外，将滤芯插入壳体时，若插入时方向错误，则无法合上盖。
6) 关闭盖，拧紧紧定螺钉。
7) 确认各部无泄漏后，开始实际运转。